|
Àü³²´ë°¡ ±âÁ¸¿¡ º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Â ¿øõ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ÀϺ»ÀÇ 3´ë ¼öÃâ ±ÔÁ¦ Ç° Áß ÇϳªÀÎ EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °³¹ß¿¡ ÁÖµµÀûÀ¸·Î ³ª¼±´Ù.
26ÀÏ Àü³²´ë¿¡ µû¸£¸é 4Â÷ »ê¾÷Çõ¸íÀÇ ÇٽɼÒÀç °¡¿îµ¥ ÇϳªÀÎ EUV ¹«±â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °³¹ßÀ» Á¤ºÎ¿¡ Á¦¾ÈÇØ ¿¬±¸°³¹ß ±¹Ã¥»ç¾÷À¸·Î äÅõƴÙ.
»ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ(Çѱ¹±â¼úÆò°¡°ü¸®¿ø)ÀÇ ¼ÒÀçºÎÇ°±â¼ú°³¹ß»ç¾÷À¸·Î äÅÃµÈ ¡®¹«±â ³ª³ëÀÔÀÚ ±â¹Ý ÇÏÀ̺긮µåÇü EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °³¹ß¡¯ °úÁ¦´Â ¿À´Â 2023±îÁö ¸ðµÎ 55¾ï¿©¿øÀÇ ¿¬±¸ºñ°¡ ÅõÀԵŠÁøÇàµÈ´Ù.
EUV ¹«±â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤ÀåÄ¡»ê¾÷ Áß »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ°¡ °ü¸®ÇÏ´Â ±¹³»ÇٽɼÒÀçÀ̸ç, ±âÁ¸ÀÇ À¯±â(organic) ¼ÒÀç°¡ ¾Æ´Ñ ¹«±â(inorganic) ¼ÒÀç ±â¼ú °³¹ß¿¡ ³ª¼´Â °Íµµ ±¹³» ÃÖÃÊÀÌ´Ù. À¯±â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®°¡ Áö´Ñ ¼±Æø ºÒ±ÕÀϼº, ³·Àº ¿¡ÄªÀúÇ×¼ºÀÇ ¹®Á¦¸¦ ±Ùº»ÀûÀ¸·Î ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀåÁ¡À» Áö´Ï°í ÀÖ´Ù.
±¹Ã¥¿¬±¸¿¡´Â ¿øõ±â¼úº¸À¯±â°üÀÎ Àü³²´ë¸¦ ºñ·ÔÇØ Æ÷Ç×°¡¼Ó±â¿¬±¸¼Ò, Çѱ¹ÈÇבּ¸¿øÀÌ Âü¿©±â°üÀ¸·Î ³ª¼°í, Âü¿©±â¾÷Àº ÁÖ°ü±â°üÀÎ Æ÷ÄÍ·¡¹ö·¡Å丮¸¦ ºñ·ÔÇØ DCT¸ÓƼ¸®¾ó, JSI½Ç¸®ÄÜ µîÀ¸·Î ¸ðµÎ 6°³ ±â°ü¡¤±â¾÷ÀÌ ÄÁ¼Ò½Ã¾öÀ» ±¸¼ºÇß´Ù.
ƯÈ÷ Àü³²´ë´Â ³ª³ë¼ÒÀç ¹× °è¸é ¿¬±¸½Ç(Á¤Çö´ã ±³¼ö¡¤ÈÇаú)ÀÌ ±âÁ¸¿¡ È®º¸ÇÏ°í ÀÖ´Â ¹«±â ³ª³ëÀÔÀÚ ¹Ú¸· ¼ÒÀç ±â¼úÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î, ±Ý¼Ó »êȹ° Ŭ·¯½ºÅÍ ¹Ú¸· ±â¼ú°ú ÀüÀÚ ±¸µ¿ ÈÇÐÀ» ¿¬±¸ÇÏ°í, À̸¦ È°¿ëÇØ Âü¿© ±â¾÷µéÀÇ EUV ¹«±â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °³¹ßÀ» Áö¿øÇϸç À̲ø°Ô µÈ´Ù.
ÀÌ ¿¬±¸°¡ ¼º°øÇÏ¸é ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É ¼ÒÀç¿¡ ´ëÇÑ ÀϺ»ÀÇ ÀÇÁ¸¿¡¼ ¹þ¾î³¯ ¼ö ÀÖ°í, ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ Àå±âÀûÀÎ Ãø¸é¿¡¼ÀÇ °æÀï·Â È®º¸°¡ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
ÀϺ»Àº Áö³ÇØ 7¿ù EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®, °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò(¿¡Äª°¡½º), Ç÷ç¿À¸° Æú¸®ÀÌ¹Ìµå µî 3°³ Ç°¸ñ¿¡ ´ëÇØ ¿ì¸®³ª¶ó ¼öÃâÀ» ±ÔÁ¦Çߴµ¥, ÀÌÁß EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ±ÔÁ¦´Â Çѱ¹ÀÇ °í¼º´É, °íÁýÀû ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀÇ ¾ÈÁ¤Àû ¹ßÀü°ú 4Â÷ »ê¾÷Çõ¸í ½Ã´ëÀÇ ÇÙ½É °æÀï·Â È®º¸¸¦ ÀúÇØÇÑ´Ù´Â ÁöÀû°ú ÇÔ²², À̸¦ ±Øº¹Çϱâ À§ÇÑ ±¹°¡Â÷¿øÀÇ ¼ÒÀç±â¼ú °³¹ßÀÌ Àý½ÇÈ÷ ¿ä±¸µÅ ¿Ô´Ù./Ãֱǹü ±âÀÚ
Ãֱǹü ±âÀÚ
¢º µðÁöÅÐ ´º½º ÄÜÅÙÃ÷ ÀÌ¿ë±ÔÄ¢º¸±â